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?Brooks熱式質量流量計SLA系列資料
點擊次數:605 更新時間:2022-11-02

上海維特銳主要經營歐美等國家進口工業(yè)備件,公司具有良好的市場信譽和專業(yè)的技術服務團隊,憑著多年的經營經驗,熟悉并了解市場行情,贏得了國內外客戶的一致稱贊。我司所供產品原裝產品,假一罰十,質保12個月,全國訂貨包郵,票可隨貨一起,歡迎廣大新老客戶前來詢價采購,維特銳-趙工將竭誠為您服務。


Brooks熱式質量流量計SLA系列資料


布魯克斯儀器的橡膠密封質量流量計和控制器將工藝所需的準確性、可靠性和可重復性相結合,是一種能夠為您提供高精度性能和長期穩(wěn)定性并且經濟有效的測量儀器。


應用

化學品與石化分析和試驗過程

實驗室和分析系統(tǒng)

生命科學實驗室

薄膜氣相沉積

熱處理、切割等其他熱過程

真空應用


參數

流體類型  氣體

流量范圍  滿量程容量3 sccm - 2500 lpm

精度  ± 0.6% of SP

最大壓力  4500 psig

溫度  65℃



布魯克斯質量流量設備得到廣泛應用的關鍵原因:


擁有業(yè)內種類齊全的產品系列可滿足各種應用需求

創(chuàng)新型 MultiFlo™ 技術可使一臺設備完成氣體類型和量程的切換工作并且無需從系統(tǒng)中拆除設備,同時還能夠提升過程氣體的測量準確性

產品范圍全面,包括彈性體密封和金屬密封選件

超高純度設備,專為滿足薄膜、半導體以及其他高科技行業(yè)需求而設計


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